熱門關(guān)鍵詞: 測角儀,應(yīng)力雙折射,折射率,薄膜弱吸收,反射率,GDD檢測設(shè)備,波片相位延遲,剪切
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簡要描述:X-LDM-AE 系列,線性電動位移臺,集成控制器。高重復(fù)性(80nm)和精度 (1 µm),最小移動量 25nm。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
高重復(fù)性(80nm)和精度 (1 µm),最小移動量 25nm
直接位置測量從1nm分辨率線性編碼器
速度可達(dá)1.2m/s 和3.5g 加速度
60, 110, 210 mm 行程可選
內(nèi)置控制器
非接觸無鐵超精密直線電機(jī),高動態(tài)和零反彈
直接安裝在XY 軸
產(chǎn)品咨詢
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