角分辨散射儀是一種重要的分析儀器，它可以用于研究材料的晶體結構、表面形貌和界面結構等方面?？梢杂糜谘芯拷饘俦砻娴慕Y構和磁性，以及納米材料的結構和性質等。此外，還可以用于研究生物大分子的結構和功能，例如蛋白質、核酸等。可以提供樣品表面形貌、結構和成分等信息，對于材料和生物大分子的研究具有重要的意義。利用入射的高能電子或中子束與材料中原子核或電子的相互作用，通過測量散射電子或中子的角度分布和能量分布來確定材料的結構信息。
使用光學的辦法來測量光刻膠圖形的線寬等幾何尺寸的儀器稱為散射儀。散射儀(scattermetry)的工作原理是：一束光入射在晶圓表面，晶圓表面的光刻膠圖形對入射光產生散射和衍射，這些含有表面結構信息的光被探測儀接收。對探測儀器接收的信號做分析，得到晶圓表面光刻膠圖形的三維尺寸。
角分辨散射測量系統-Horos(hight sensitive optical roughness sensor)簡易型散射儀 是一種小型的，便于移動的光學傳感器。它以散射測量為基礎，用于測量從微米級到亞納米級的表面粗糙程度。被測樣本的規格從機械零件到具有納米結構的光學表面均可。
特點：
• 體積小，速度快: 測試時間<1s
• 非接觸式2D/3D測量
• 高靈敏度/低噪聲：Rq<0.5nmt
• 高動態范圍≧1013
• 可與輪廓儀直接相連并比較測量結果
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